測量真空泵漏率的方法

點擊次數:   更新时间:18/08/09 10:06:08     来源:www.zibozhenkongbeng.com關閉分    享:
  真空泵漏率測量的辦法是以示漏物質夜蓋被橙容器的整個可疑區或者被檢容器內充人示漏物質,另一側抽真空或是大氣;或是在被檢容器的內外兩側形成壓差或示漏物質的濃度差,在低壓或低濃度側側2示漏物質的漏率和濃度變化。
  1、加壓條件下容器漏率的測定
  在加壓條件下測童容器漏率的方法有:氣泡法、超聲法、氣敏半導體檢漏儀法、氨檢漏法、鹵素檢漏儀法、氮質譜檢漏儀法等。
  2、真空條件下容器漏率的測定
  ①利用接人真空容器的真空規、離子泵及殘氣分析質譜計來測定容器的漏率。
  ②可以選用流盆測量、壓力測量、鹵素檢漏儀以及氮質譜檢漏儀等方法來測全漏率。
  3、密封件的無損檢漏
  ①盡量利用密封件上可用來指示密封器件內部壓力和示漏物質分壓力的規管和殘氣分析質譜計等進行檢漏。
  ②有些原來不是測量壓力的裝置,如:電子管、顯像管等,若改換饋電方式,將其電極接成電離規的方式,測全出管內離子流的變化,便可知管內壓力的變化率。大批量生産這類器件時,可以通過校准的方法把離子流的變化率直接換算成漏率。
  ③如果密封件內部具有可作爲示漏的物質時,采用動態法或靜態法對漏到外面的示漏物質進行檢測,就可測出漏孔來。通常這類密封件內部的示漏氣體的分壓力要比采用背壓法時的壓力爲高。因此,檢漏靈敏度高,費用低。
  ④背壓法檢漏適用于成批生産小型密封件時的檢漏;可以使用鹵素檢漏儀,氮質譜檢漏儀,放射性同位素等檢漏方法和儀器。
  平時我們在對真空泵漏率進行測量的時候,不僅要做好整體的使用效果,更要在使用期間,對他進行正確的測量,做好使用。
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